廢氣焚燒爐的維護是一項非常重要的工作。適當的維護可以延長設備的使用壽命。同時執行以下步驟以維護廢氣催化燃燒裝置：

1.廢氣焚燒爐在工業生產使用過程中，應嚴格遵守設備的配套說明書，以免損壞設備，發生不必要的事故。

2.設備在貯存和使用過程中，如因碰撞而造成整體變形，應停止使用，經修理后方可再次使用

3.在電氣運行過程中，定期檢查控制器和配電箱有無異常，定期清除各接觸器上的污垢、灰塵等物質，并檢測線圈絕緣情況。

4.每隔1-2個月，打開廢氣焚燒爐主體，清理設備內的灰塵或灰塵等沉淀物，打開設備電源箱，清理高壓模塊的灰塵，然后安裝并恢復。

5.定期檢查熱點熱電偶和溫度顯示儀表的工作情況，避免控制溫度偏差過大，影響設備正常運行

6.定期檢查風機運行情況，有無異常噪音，定期給風機加潤滑油

7.觀察廢氣焚燒爐中催化劑的使用情況。如果溫度上升速率減慢，考慮催化劑活性是否下降。催化劑一般可使用1-3年。廢氣焚燒爐在使用過程中，必須按照說明書上的操作規程使用，使專業人員能限度地發揮本設備的作用。